工業(yè)冷水機(jī)：精密半導(dǎo)體晶圓劃切的溫控利器

半導(dǎo)體晶圓劃切是將晶圓分割成單個(gè)芯片的關(guān)鍵工序，切割過程中產(chǎn)生的熱量會(huì)影響切割精度與芯片質(zhì)量。工業(yè)冷水機(jī)憑借高效的冷卻性能和精準(zhǔn)的溫控能力，成為精密半導(dǎo)體晶圓劃切的溫控利器。

在晶圓劃切時(shí)，高速旋轉(zhuǎn)的劃切刀與晶圓劇烈摩擦產(chǎn)生大量熱量，若不及時(shí)散熱，會(huì)導(dǎo)致晶圓局部溫度升高，引發(fā)熱應(yīng)力，造成芯片邊緣崩裂、表面損傷等問題，降低芯片良品率。工業(yè)冷水機(jī)通過循環(huán)冷卻系統(tǒng)，為劃切設(shè)備的主軸、劃切刀和冷卻管路提供低溫冷卻液，迅速帶走切割產(chǎn)生的熱量，將晶圓表面溫度穩(wěn)定控制在 15 - 20℃。其大流量、低溫度的冷卻液可有效降低劃切刀的溫度，減少刀具磨損，延長(zhǎng)刀具使用壽命，同時(shí)保證晶圓在低溫環(huán)境下進(jìn)行切割，提高切割精度和表面質(zhì)量。

對(duì)于超薄晶圓和先進(jìn)封裝工藝中的劃切需求，工業(yè)冷水機(jī)的溫控精度尤為重要。在劃切厚度僅幾十微米的晶圓時(shí)，微小的溫度波動(dòng)都可能導(dǎo)致晶圓變形，影響切割效果。工業(yè)冷水機(jī)配備高精度溫度傳感器和智能控制系統(tǒng)，將冷卻液溫度波動(dòng)控制在 ±0.1℃以內(nèi)，確保劃切過程穩(wěn)定可靠。某半導(dǎo)體制造企業(yè)引入工業(yè)冷水機(jī)后，晶圓劃切的崩邊量減少 50%，芯片良品率提高到 98%，顯著提升了半導(dǎo)體生產(chǎn)的效率與質(zhì)量，助力企業(yè)在高端芯片制造領(lǐng)域占據(jù)優(yōu)勢(shì)。